三氟化氯（ClF3），相對分子量為92.45，是一種腐蝕性、無色有甜味的氣體，降溫變為綠色液體，即使在低濃度時也有高度刺激性，具有強氧化性。在高溫時，三氟化氯能夠點燃許多有機化合物和許多金屬，遇水產生猛烈反應，水解產生有毒物質。在半導體工業中，三氟化氯用于清洗化學氣相沉積腔室，它可以用于從室壁去除半導體材料，而不必拆卸腔室，不需要使用等離子體的激活，腔室的熱量足以使其分解并與半導體材料反應。

產品指標

產品用途：

在半導體工業中，三氟化氯可用于清洗化學氣相沉積腔室。此外，三氟化氯還可用作氟化劑、燃燒劑、推進劑中的氧化劑、高溫金屬的切割油等。        

包裝、貯存：

三氟化氯儲存于標準無縫鋼瓶中，包裝規格有500g，1kg，2kg。具體包裝規格可根據用戶要求定制更改。三氟化氯儲存于陰涼